常見處理工藝比較：有機(jī)廢氣污染物種類繁多，特性各異，因此相應(yīng)采用的治理方法也各不相同，常用的有：冷凝法、吸收法、吸附法、生物法、催化氧化法、燃燒等；近年來(lái)由國(guó)外也發(fā)展出一些新的工藝技術(shù)：生物法、低溫等離子法等，以下對(duì)各工藝作簡(jiǎn)要對(duì)比介紹。
1冷凝法
是把廢氣直接導(dǎo)入冷凝器冷凝，冷凝液經(jīng)分離可回收有價(jià)值的有機(jī)物。采用冷凝法要求廢氣中有機(jī)物濃度高,一般有機(jī)物濃度要達(dá)到幾萬(wàn)甚至幾十萬(wàn)ppm，對(duì)于低濃度有機(jī)廢氣此法不適用。
2吸收法
吸收法可分為化學(xué)吸收和物理吸收，大部分有機(jī)廢氣不宜采用化學(xué)吸收。物理吸收要求吸收劑應(yīng)具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發(fā)性，吸收液飽和后經(jīng)解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價(jià)高效的低揮發(fā)性吸收液也比較困難，同時(shí)二次污染問(wèn)題較難解決，凈化效果不理想。
3吸附法
有機(jī)廢氣通過(guò)活性炭的吸附，可達(dá)到90%～95%以上的凈化率，設(shè)備簡(jiǎn)單、投資小。該法可以采用水蒸汽等能對(duì)吸附飽和的活性炭進(jìn)行再生，但運(yùn)行費(fèi)用相當(dāng)高，適用于有回收價(jià)值的中高濃度VOCs。
4 生物法
該法是基于成熟的生物處理污水技術(shù)上發(fā)展起來(lái)，具有能耗低、運(yùn)行費(fèi)用少的特點(diǎn)，在國(guó)外有一定規(guī)模的應(yīng)用。其缺點(diǎn)在于污染物在傳質(zhì)和消解過(guò)程中需要有足夠的停留時(shí)間，從而增大了設(shè)備的占地，同時(shí)由于微生物具有一定的耐沖擊負(fù)荷限值，增加了整個(gè)處理系統(tǒng)在停啟時(shí)的控制。該法目前在國(guó)內(nèi)污水站廢氣治理中有少量應(yīng)用，對(duì)工業(yè)廢氣治理的應(yīng)用很少。
5 催化式氧化法
該法是利用電加熱、天然氣或燃料油燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度約400℃，滯留一定的時(shí)間(0.5～1秒)，使可燃的有害物質(zhì)進(jìn)行高溫分解變?yōu)闊o(wú)害物質(zhì)。本法的特點(diǎn)：工藝簡(jiǎn)單、去除率高，通過(guò)催化材料回收熱量，可以達(dá)到90～95%的熱回收率，運(yùn)行費(fèi)用較少，尤其對(duì)于一些復(fù)雜組分處理效果較好。
6直接燃燒法
本法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法，是利用燃?xì)饣蛉加偷容o助燃料燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度(700～800℃)，駐留一定的時(shí)間(0.3～0.5秒)，使可燃的有害物質(zhì)進(jìn)行高溫分解變?yōu)闊o(wú)害物質(zhì)。
本法的特點(diǎn)：工藝簡(jiǎn)單、適用高濃度廢氣治理；對(duì)于自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大（運(yùn)行成本比催化燃燒法高10倍以上）；運(yùn)行技術(shù)要求高，不易控制與掌握。此法在國(guó)內(nèi)基本上未獲推廣，僅有少數(shù)廠家引進(jìn)國(guó)外治理設(shè)備應(yīng)用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業(yè)廢氣治理中，但終因能耗大及運(yùn)行不穩(wěn)定，難以正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
7 吸附濃縮組合工藝法
(1)吸附-燃燒法
有機(jī)廢氣通過(guò)吸附劑（活性炭或沸石轉(zhuǎn)輪）的吸附再脫附，可使大風(fēng)量、低濃度有機(jī)廢氣濃縮為小風(fēng)量、高濃度的有機(jī)廢氣，再結(jié)合催化燃燒法、RTO、RCO等設(shè)備進(jìn)行處理，克服了低濃度、大風(fēng)量有機(jī)廢氣處理設(shè)備投資成本、運(yùn)行成本較高的難題。
(2)吸附--回收法
該法利用過(guò)熱蒸汽/惰性氣體反吹吸附飽和的吸附劑進(jìn)行脫附再生，蒸汽/惰性氣體與脫附出來(lái)的有機(jī)氣體經(jīng)冷凝、分離，可回收有機(jī)液體。該法凈化效率較高，但要求提供必要的蒸汽量。另外有機(jī)溶劑與水的分離不很徹底，得到的“混合苯”液體品質(zhì)不高，組份較為復(fù)雜，這些有機(jī)液體無(wú)法直接用到生產(chǎn)中，要再采用蒸餾、精餾、萃取、分離等多道程序，而且蒸汽冷凝效果和設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)安全問(wèn)題也亟待解決。該法在工藝技術(shù)上仍有待提高。
